硅钼棒具有高耐氧化性,在高温气氛下,原件的表面生成一层致密的石英SIO2保护层以防止MOSI2继续氧化。当元件温度大于1700度、熔点1710度的SIO2保护膜熔融,由于表面张力的作用,SIO2熔聚成滴,而失去保护作用。但元件在氧化气氛下在继续使用时,SIO2保护层再生成。