XY 精度:E2=(2.5+5L/1000)微米
Z 精度:E1=(2.0+8L/1000)微米 ( 带TTL激光和可选5倍镜头)
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英制单位
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公制单位
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测量范围
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18" X18"X6"
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450x450x150毫米
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尺寸
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48" X45"X67"
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1210x1140X1700毫米
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负载能力
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65千克
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台面分辨率
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0.5微米
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光学
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双重放大 (物镜 X)
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低
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0.8
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1.0
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2.5
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5.0
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10.0
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25.0
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高
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3.2
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4.0
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10.0
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20.0
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40.0
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100.0
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标配物镜
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1X
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可选物镜
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0.8X,2.5X,5X
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照明
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LED 背光,LED 同轴面光
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可选特征
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多色可编程环形灯 (PRL)
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Ronchi 栅格自动聚焦
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TTL 激光
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旋转分度工作台
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