50A型SERIES
概要：
MT-50A系列质量流量计/控制器由质量流量传感器，
分流器通道，流量控制调节阀和放大控制电路等部
件组成。
本流量控制器利用流动流体传递热量改变测量毛细
管壁温度分布的热传导分布效应尔制成
采用毛细管传热温差量热法原理测量气体的质量流
量，可以不受温度压力的影响，将传感器测得得流
量信号进行放大，然后与设定的电压值进行比较，
用所得的差值信号去驱动控制调节阀门，闭环控制
流过通道的流量使之与设定的流量相等。
●标准
本公司产品采用中华人民共和国电子行业标准
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MT-50A
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□
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－
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□□□
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－
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□□□
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－
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□
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□
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型式
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A
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模拟式
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B
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数字式
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功能
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M
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流量计
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C
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流量控制器
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流量范围
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ABC
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气体种类
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013
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N2
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008
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Air
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015
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O2
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004
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Ar
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025
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CO2
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001
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He
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FFF
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其他
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接头
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1/4”VCR
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1
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1/2”VCR
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2
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3”SWL
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3
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6”SWL
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4
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其他
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F
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讯号
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DC 0~5V
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1
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其他
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2
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电源
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24V
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1
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SJ/T10583-94 以及SJ37 所规定的通用技术条 产品尺寸182×40×125mm
件和命名方法。
质量流量控制器出厂通常用氮气（N2）标定。 型号选型
质量流量的单位规定为：SCCM(标准毫升/分)
SLM(标准升/分)
标准状态规定为：温度--273.15K( 0℃ )
气压--101325pa(760mm Hg) F.S(Full Scale):满量程值
特点：
MT-50A系列可应用在30SLM-200SLM的气体流量范围
并且不会受到温度及压力变化的影响，应用范围广
●模拟式质量流量计/控制器
·低单价 ·环境温度补正 ·可应用流量范围广
·0-5，10，20，30，50，100，200，500SCCM
·0-1, 3 , 5 , 10, 20 , 30,100,200SLM
●高精度
·±1%F.S（≤15SLM） ·±2%F.S（＞15SLM）
●小体积
●可选用MT-1A流量显示仪或MT-1B流量积算仪配
套使用。
●输入，输出，供电
·输入设定电压…………4-20mA
·输出电压检测…………4-20mA
●基本参数
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功能
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流量计/控制器
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基本型号
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MT-50A
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满量程流量范围(N2)
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SCCM
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0～5，10，20，30，50，100，200，500
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SLM
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0～1, 2, 3, 5, 10, 15, 20, 30,100,200
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精度(％F.S)
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±1(≤15SLM)
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±2(＞15SLM.)
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控制阀动作型式
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常闭式
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线性(％F.S.)
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±0.5～1(≤15SLM)
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±2％(＞15SLM.)
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重复精度(％F.S.)
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±0.2
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响应时间(sec)
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≤3
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流量输出信号
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4-20mA
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流量设定信号
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4-20mA
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电器接头
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DB15 pin(接头)
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工作环境温度
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(℃)
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5～45
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工作压差
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(MPa)
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0.1～0.3
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漏率
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SCCSHe
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1×10-9
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z大耐压
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3MPa
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介质接触材质
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304，316，316L
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密封材料
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氟橡胶，硅橡胶，聚四氟乙烯
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接头
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VCR " 1/4、1/2
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Swagelok1/8”、1/4” 、3/8” 、1/2”或φ3、φ6、φ8、φ10、φ12mm
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接头和尺寸
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Φ6mm,1/4"Swagelok:127×28×100mm
1/4"VCR:127×28×100mm
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电源要求
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+15V,50mA;-15V,200mA
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重量
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0.75KG
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