Sensofar 三维共聚焦显微镜是一款高精度的光学测量仪器，广泛应用于表面形貌、粗糙度、涂层厚度等微观结构的测量。它采用共聚焦成像技术，能够获得高分辨率的三维图像，并对样品的表面进行精确的厚度、形貌以及微小变形的测量。

Sensofar三维共聚焦显微镜主要特点包括：

1.高分辨率：通过共聚焦技术，Sensofar 显微镜能够获取细节精确的高分辨率图像。

2.多模式操作：支持多种操作模式，如接触式和非接触式表面测量，以及表面粗糙度分析。

3.三维成像：能够提供三维数据，帮助用户在微观层面进行形貌分析、测量和评估。

4.高速扫描：快速采集数据和图像，适用于高通量的分析需求。

5.易于操作和集成：用户界面友好，容易操作，且可以与其他设备和系统进行集成。

Sensofar三维共聚焦显微镜关键参数：

1.放大倍率：2.5X - 200X，超过50种物镜可选（含水镜、长工作距离、浸液镜头等）

2.XY平台：电动，行程125×75mm（S neox更大，至12寸晶圆）

3.Z轴：线性平台40mm + 压电扫描器200μm，全行程精度1nm

4.色彩还原：红绿蓝LED交替照明，逐像素合成真彩色，不是插值算法

5.薄膜测量：10nm-20μm，分辨率0.1nm，横向5μm，z多10层膜

6.软件：SensoSCAN（操作核心）、SensoVIEW（交互式3D分析）、SensoPRO（高阶分析+批量检测）

Sensofar三维共聚焦显微镜操作要点：

1.清洁样品台，固定样品（XY台承重20kg）。

2.点预览→自动生成低倍全景→框选区域→系统自动对焦定位。

3.选模式：光滑选PSI/VSI，粗糙选多焦面叠加，微结构选共聚焦，新手直接用默认参数。

4.点3D测量→软件自动调光源、对焦、选z优模式→出结果通常小于5秒。

5.批量检测用SensoPRO LT，预设程序后全自动运行。

Sensofar 显微镜通常用于材料科学、电子制造、生命科学等领域，尤其适合需要高精度表面分析的应用。它的先进功能使其在精细结构的表征、故障分析、以及质量控制等方面有着广泛的应用。

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